prBAS ISO 14606:2025
Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials
Опште информације
Статус:Пројекат
Број страница:21
Метода усвајања:Korice
Језик:engleski
Издање:3.
Датум реализације:20.11.2024
Предвиђени датум наредне фазе:10.03.2025
Технички комитет:BAS/TC 49, Хемијски инжињеринг, лабораторијска опрема и козметика
ICS:
71.040.40, Хeмиjскa aнaлизa
Абстракт
This document gives guidance and requirements on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials, in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.
This document is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.
Животни циклус
...
Изворни документ и степен усаглашености
ISO 14606:2022, идентичан
Веза са BAS стандардима
Радни материјал
Сaмo члaнoви тeхничкoг кoмитeтa имajу приступ рaднoм мaтeриjaлу. Укoликo стe члaн, мoлимo вac приjaвитe сe сa вaшим нaлoгoм и дoбићeтe приступ дoкумeнтимa. Пријавите се