prBAS ISO 14606:2025
Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials
Opće informacije
Status:Projekt
Broj stranica:21
Metoda usvajanja:Korice
Jezik:engleski
Izdanje:3.
Nadnevak realizacije:20.11.2024
Predviđeni nadnevak naredne faze:10.03.2025
Tehnički komitet:BAS/TC 49, Кemijski inžinjering, laboratorijska oprema i kozmetika
ICS:
71.040.40, Hemijska analiza
Apstrakt
This document gives guidance and requirements on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials, in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.
This document is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.
Životni ciklus
...
Izvorni dokument i stepen usklađenosti
ISO 14606:2022, identičan
Veza sa BAS standardima
Radni materijal
Samo članovi tehničkog komiteta imaju pristup radnom materijalu. Ukoliko ste član, molimo prijavite se sa vašim nalogom i dobićete pristup dokumentima. Пријавите се