prBAS ISO 23170:2025

Surface chemical analysis — Depth profiling — Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering

Opće informacije

Status:Projekt

Broj stranica:33

Metoda usvajanja:Korice

Jezik:engleski

Izdanje:1.

Nadnevak realizacije:20.11.2024

Predviđeni nadnevak naredne faze:10.03.2025

Tehnički komitet:BAS/TC 49, Кemijski inžinjering, laboratorijska oprema i kozmetika

ICS:

71.040.40, Hemijska analiza

Apstrakt

This document specifies a method for the quantitative depth profiling of amorphous heavy metal oxide ultrathin films on Si substrates using medium energy ion scattering (MEIS).

Životni ciklus

...

Izvorni dokument i stepen usklađenosti

ISO 23170:2022, identičan

Radni materijal

Samo članovi tehničkog komiteta imaju pristup radnom materijalu. Ukoliko ste član, molimo prijavite se sa vašim nalogom i dobićete pristup dokumentima. Пријавите се